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日本芝浦機床UVM系列納米加工機——以及氣浮主軸原理
2025-06-07 09:15:25

最近日本芝浦機機床的超精密加工中心UVM系列,使用5軸控制系統(tǒng)的UVM-450D(5AH)5月23日宣布開始發(fā)售。

 該機標配了自主研發(fā)的HSK接口的氣浮主軸,主軸轉速60,000Rpm/Min .主要應用于加工精密光學模具、精密零件和微細模具等。

工作臺直徑200mm、包含夾具在內(nèi)的最大可承載重量為15kg。

旋轉軸最小設定單位為0.00001度,直線軸通過最小脈沖步距為0.01μm的線性電機驅動相結合,能夠高精度地進行定位。

最小檢測單位為0.0005μm。  


1.氣浮主軸 

氣浮主軸是一種利用壓縮氣體形成的薄層氣墊,來隔絕與固件之間的直接接觸,類似于磁懸浮列車軌道和車身下部的非接觸關系。從而實現(xiàn)沒有摩擦狀態(tài)下旋轉運動的新型主軸。 

 靠外部供給的壓縮空氣使軸心浮起狀態(tài),在此狀態(tài)時摩擦系數(shù)為0,實現(xiàn)精密控制。 

   在空氣軸承電主軸高速運行過程中電機與兩端的空氣軸承都會產(chǎn)生大量的損耗,成為電主軸系統(tǒng)的發(fā)熱源, 因此電主軸系統(tǒng)的主要熱源包括:定子、繞組、轉子,以及兩端支撐的空氣軸承。 

所以在對空氣處理的時候是無水化,這個是為了空氣軸承部件的壽命和精度考慮。

通過空壓機制造壓縮空氣并儲蓄、再進行烘干機烘干、過濾器過濾空氣雜質(zhì),最終進入氣浮主軸軸承 。

還有一個就是對主軸進行冷卻油冷卻,一般控制在18-20度。

以達到控制前文提到的高速運轉下的軸承熱和電機熱量。 

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 2.應用領域 

在銑削領域,4萬到6萬轉的空氣軸承主軸在半導體行業(yè)的鉆孔加工應用較多,主要是使用瑞士的PCB鉆頭對SIC這類硬脆材料進行加工。 

在車削領域,主要用在單點金剛石車床中,是超精密光學元件加工的核心支撐單元。

廣泛應用于各類光學領域及自由曲面光學元件的批量化生產(chǎn).


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